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優(yōu)勢(shì)供應(yīng)美國(guó)MKS Granville-Phillips發(fā)生器MKS 傳感器 MKS Granville-Phillips MKS計(jì)量泵 MKS控制器 Granville-Phillips真空計(jì)全系列產(chǎn)品大量現(xiàn)貨請(qǐng)咨詢(xún)上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
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優(yōu)勢(shì)供應(yīng)美國(guó)MKS Granville-Phillips發(fā)生器
MKS 傳感器 MKS Granville-Phillips MKS計(jì)量泵 MKS控制器 Granville-Phillips真空計(jì)
全系列產(chǎn)品大量現(xiàn)貨請(qǐng)咨詢(xún)上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
MKS射頻功率發(fā)生器為薄膜處理設(shè)備提供可靠的固態(tài)功率。它們是半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的重要組成部分，該系統(tǒng)可以生產(chǎn)現(xiàn)代計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備所需的集成電路（IC）或芯片。MKS射頻發(fā)生器與我們的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)和我們的V / I探頭相結(jié)合，構(gòu)成了一個(gè)完整的RF傳輸系統(tǒng)。
NOVA®系列RF發(fā)電機(jī)以2 MHz的頻率提供2,500或5,000瓦的額定輸出功率。NOVA系列發(fā)生器提供*的RF等離子生成和控制功能，可在薄膜處理應(yīng)用中以低成本和高成品率提供。它們非常適合在集成電路，平板顯示器和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備制造過(guò)程中進(jìn)行等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD），高密度等離子CVD（HDPCVD），蝕刻和其他薄膜應(yīng)用。
優(yōu)勢(shì)供應(yīng)美國(guó)MKS Granville-Phillips發(fā)生器
MKS 傳感器 MKS Granville-Phillips MKS計(jì)量泵 MKS控制器 Granville-Phillips真空計(jì)
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